研究者
J-GLOBAL ID:200901023506698055
更新日: 2024年06月13日
金子 忠夫
カネコ タダオ | Kaneko Tadao
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研究分野 (1件):
材料力学、機械材料
研究キーワード (2件):
薄膜
, スパッタリング
競争的資金等の研究課題 (4件):
新型マグネトロンスパッタ装置による被膜の構造
円筒型スパッタ装置の試作
Structure of Coating Films by New type of Magnetron Sputtering
Fabrication of Cylindrical Sputtering Apparatus
論文 (25件):
金子 忠夫. 1 多軸工作機械の運動学と軌道制御の理解をねらいとしたシミュレーション演習. 群馬高専レビュー第34号 PP.9~14. 2015
金子 忠夫. 2 カメラ画像を用いた3Dモデルの作成とCNC加工. 群馬高専レビュー第33号 PP.47~52. 2014
金子 忠夫. 3 CAD・CAM補助教材の開発(その3)-ACサーボモータの体験学習環境の構築-. 群馬高専レビュー第32号 PP.43~47. 2013
金子 忠夫. 4 CAD・CAM補助教材の開発(その2)-LinixCNCを用いたCAM学習環境の構築-. 群馬高専レビュー第31号 PP.5~10. 2012
金子 忠夫. 5 CAD・CAM補助教材の開発-FreeCADおよびMach3の利用-. 群馬高専レビュー第30号 PP.1~6. 2011
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MISC (36件):
金子 忠夫. 1 基板周辺の中間周波グロー放電を利用した微粒子輸送型スパッタ装置の試作. 日本機械学会関東支部ブロック合同講演会講演論文集pp.1~2. 2009
金子 忠夫. 2 表面積が増加できるスパッタチタン膜の酸化処理方法の検討. 日本材料学会第53期学術講演会講演論文集pp.199~200. 2004
Microstructure of Sputtered Copper Films Deposited under the Strong Shadow Effect. 2001. 44. 1
金子 忠夫, 入戸野 修. 強い射影効果のもとで堆積したスパッタ銅膜の構造. 真空. 2001. 44. 1. 42-46
Tadao Kaneko, Osamu Nittono. Preparation of thin electrochromic films by evaporating the metal oxides formed by high temperature oxidation. Shinku/Journal of the Vacuum Society of Japan. 2000. 43. 8. 806-811
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学歴 (2件):
- 1976 群馬工業高等専門学校 機械工学科
- 1976 群馬工業高等専門学校
学位 (1件):
博士(工学) (東京工業大学)
所属学会 (3件):
日本真空協会
, 炭素材料学会
, 日本材料学会
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