河合晃

カワイアキラ | Kawai Akira

ホームページURL (1件)： http://kawai.nagaokaut.ac.jp

研究分野 (3件)：電気電子材料工学 , 薄膜、表面界面物性 , 電子デバイス、電子機器

研究キーワード (4件)：デバイスプロセス , 表面界面化学 , 微細加工技術 , インテリジェントMEMS

競争的資金等の研究課題 (22件)：

15nmゲートパターンのラインエッジラフネス (LER) 抑制技術の開発

高分子集合体間の相互作用力制御に基づいた35nmサイズの微細レジストパターン開発

微細凹凸構造での微小気泡の吸着・脱離制御に基づく新規メモリデバイスの開発

光干渉縞を利用した大型基板表面の清浄度分布解析法の実用化研究

光学フリンジを利用した大型基板表面の清浄度評価法の実用化研究

耐環境型液体分析マイクロチップの実用化研究

ナノスケールで制御された凝集構造を有する25nmサイズの微細レジストパターン開発

高分子集合体間の相互作用力制御に基づいた35nmサイズの微細レジストパターン開発

微細凹凸構造での微小気泡の吸着・脱離制御に基づく新規メモリデバイスの開発

原子間力顕微鏡の微細探針を用いた100nm以下のレジストパターンの付着凝集解析

AFM探針を用いた0.1μm線幅のレジストパターン接着力の直接解析法に関する研究

0.3μm以下の微細レジストパターンの接着・破壊機構に関する研究

超微細サイズにおける誘電体薄膜の誘電メカニズム解析

15nmゲートパターンのラインエッジラフネス(LER)抑制技術の開発

植物内へのpH制御デバイス挿入による新規成長促進システムの開発

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論文 (161件)：

MISC (54件)：

特許 (100件)：

書籍 (25件)：

講演・口頭発表等 (120件)：

Durability of Resist Film in TMAH Developer Analyzed by C-V Method
(International Conference of Science of Technology Innovation 2017 (STI-Gigaku 2017) 2017)
Formation of Ultra Thin Continuous Resist Film Less Than 10nm
(The 5th International GIGAKU Conference in Nagaoka (IGCN 2016) 2016)
Biomimetic Fabrication of Gas Storage System in Micro Two Step Cone Tube
(The 5th International GIGAKU Conference in Nagaoka (IGCN 2016) 2016)
Smooth Fluid Flow at Micro Channel/Tube Junction
(The 5th International GIGAKU Conference in Nagaoka (IGCN 2016) 2016)
Application of Micro Heating System to Plant Vital Control
(The 5th International GIGAKU Conference in Nagaoka (IGCN 2016) 2016)

学歴 (3件)：

学位 (2件)：

経歴 (4件)：

委員歴 (6件)：

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受賞 (5件)：

2005/06/23 - Photopolymer Science & Technology Committee Photopolymer Science and Technology Award
2005/06/22 - 日本接着学会ベストポスター賞微細探針のインデンテーション法による高分子パターンの表面硬化層の解析
2002/06/23 - 日本接着学会ベストポスター賞原子間力顕微鏡(AFM)を用いたサブミクロンサイズのラインレジストパターン表面のインデンテーション解析
2002/06/23 - 日本接着学会日本接着学会論文賞原子間力顕微鏡(AFM)を用いた微細探針走査法によるフォトレジスト微細パターンの接着性解析
1999/06/23 - 日本接着学会日本接着学会進歩賞原子間力顕微鏡を用いた表面相互作用力の解析

所属学会 (3件)：

精密工学会 , 日本接着学会 , 電気学会

※　J-GLOBALの研究者情報は、researchmapの登録情報に基づき表示しています。登録・更新については、こちらをご覧ください。

河合 晃