堀内敏行

ホリウチトシユキ | Horiuchi Toshiyuki

研究分野 (2件)：応用物理一般 , 光工学、光量子科学

研究キーワード (2件)：リソグラフィ , Lithography

競争的資金等の研究課題 (6件)：

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MISC (64件)：

Y Joshima, T Kokubo, T Horiuchi. Application of laser scan lithography to fabrication of microcylindrical parts. JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS. 2004. 43. 6B. 4031-4035
ずらし=重露光による大ピッチラインパターン解像限界k1値の改善. 次世代リソグラフィワークショップ予稿集. 2004. 186-189
レーザースキャンによるレジスト表面の曲面加工と円柱面上のレジスト加工. フォトポリマー懇話会. 2004. 第148回 II-1-II-11
廣田克範, 堀内敏行. 低開口数投影露光リソグラフィを用いた厚膜レジストパタン形成とマイクロ部品製造への応用. 精密工学会誌. 2004. 70. 1. 138-143
Study on resolution limit for large-pitch line patterns using a newly developed Slim-Line Imaging Double-Exposure Recipe. 2004 ICO International Conference Optics & Photonice in Technology Frontier. 2004. 355-356

特許 (13件)：

学歴 (2件)：

学位 (1件)：

経歴 (4件)：

委員歴 (2件)：

所属学会 (4件)：

精密工学会 , 電子情報通信学会 , 電気学会 , 応用物理学会

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堀内 敏行