研究者
J-GLOBAL ID:200901059636404279   更新日: 2024年01月30日

清田 英夫

キヨタ ヒデオ | Kiyota Hideo
所属機関・部署:
職名: 教授
研究分野 (1件): 電気電子材料工学
研究キーワード (4件): 薄膜 ,  ダイヤモンド ,  デバイス ,  半導体
競争的資金等の研究課題 (6件):
  • 2010 - 2012 電気化学プロセスによる窒化カーボンの液相合成とLow-k層間絶縁膜への応用
  • 2000 - 2001 液相中でのダイヤモンドライクカーボン薄膜の堆積と不純物制御
  • ダイヤモンドライク-カーボン及びCNXの液相合成
  • 気相合成ダイヤモンド薄膜の電子デバイス化に関する研究
  • Liquid-phase deposition of Diamond-like Carbon and CNX films
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論文 (29件):
MISC (14件):
講演・口頭発表等 (1件):
  • Field emission from amorphous carbon films grown by electrochemical deposition using methanol liquid
    (J Appl Phys 2006)
学歴 (4件):
  • - 1994 東海大学 工学研究科 電子工学
  • - 1994 TOKAI UNIVERSITY Graduate School, Division of Engineering
  • - 1989 東海大学 工学部 電子工学
  • - 1989 TOKAI UNIVERSITY Faculty of Engineering
学位 (1件):
  • 博士(工学) (東海大学)
経歴 (1件):
  • 2022/07 - 現在 東海大学 文理融合学部 人間情報工学科 教授
所属学会 (1件):
日本応用物理学会
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