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J-GLOBAL ID:200902114054097287   整理番号:93A0630427

プラズマ実験入門 II 2. プラズマの作り方 2.2 高周波放電を用いる方法

Introduction to Plasma Experiment II. 2. 2 Plasma Production by r.f. Discharge.
著者 (1件):
資料名:
巻: 69  号:ページ: 639-641  発行年: 1993年06月 
JST資料番号: G0114A  ISSN: 0918-7928  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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プラズマ生成にRFグロー放電を用いたときの利点を,直流グロー...
シソーラス用語:
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分類 (2件):
分類
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気体放電  ,  プラズマ生成・加熱 
タイトルに関連する用語 (3件):
タイトルに関連する用語
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