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J-GLOBAL ID：200902121950845973   整理番号：00A1054765

摩擦力顕微鏡機構による極微細加工とアルカリエッチングを併用した単結晶シリコンヘのマスクレスパターン形成

Maskless Pattern Formation Which Used Alkaline Etching and Nano-scale Cutting by Using Friction Force Microscope.

著者 (3件)： CHEN L (千葉大 大学院) ,  森田昇 (千葉大 工) ,  芦田極 (機械技研)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 66  号： 11  ページ： 1807-1811  発行年： 2000年11月05日 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 標記マスクレスパターン形成の加工原理を基礎研究した。シリコン...

シソーラス用語： *ケイ素 ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (11件)：

• 三宅正二郎. 原子間力顕微鏡によるマイカのナノメータスケールの機械加工. 精密工学会誌. 1997, 63, 3, 426
• 三宅正二郎. 原子間力顕微鏡(AFM)によるシリコンのマイクロ隆起加工. 精密工学会誌. 1999, 65, 12, 1788
• 佐光大和. AFMによる原子スケール加工法の研究. 精密工学会誌. 1995, 61, 8, 1121
• 芦田極. 摩擦力顕微鏡機構を用いた極微小な機械加工の研究(第1報, FFM一体型加工評価装置の試作). 日本機械学会論文集(C編). 1998, 64, 626, 1072
• 芦田極. 摩擦力顕微鏡機構を用いた極微小な機械加工の研究(第2報, FFM一体型加工評価装置を用いた微細加工の特性). 日本機械学会論文集(C編). 1998, 64, 626, 4079

タイトルに関連する用語 (8件)： 摩擦力顕微鏡 ,  極 ,  微細加工 ,  アルカリエッチング ,  併用 ,  単結晶シリコン ,  マスクレス ,  パターン形成