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J-GLOBAL ID：200902127258772492   整理番号：01A0209143

数値制御プラズマCVMによるX線ミラーの加工に関する研究 (第1報) X線ミラー加工用装置の開発

著者 (3件)： 森勇蔵 (大阪大 大学院工学研究科) ,  山村和也 (大阪大 大学院工学研究科) ,  佐野泰久 (大阪大 大学院工学研究科)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 67  号： 1  ページ： 131-136  発行年： 2001年01月05日 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 平面または非球面形状を有するX線ミラーを加工するための,数値...

シソーラス用語： *鏡面仕上 ,...
準シソーラス用語： 工作精度

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分類 (1件)： 光学器械要素とその材料  (QF05020K)

引用文献 (6件)：

• MORI, Y. Plasma cvm (chemical vaporization mechining) : An Ultra Precision Machining Technique Using High-Pressure Reactive Plasma. Nanotechnology. 1993, 4, 225
• 森勇藏. プラズマCVM法による集積型a-Si太陽電池のパターニングに関する研究. 1995年春季第42回応用物理学関係連合講演会講演予稿集. 1995, 850
• 森勇藏. Plasma CVM (Chemical Vaporization Machining)における切断加工に関する研究-切断加工用高速回転電極の試作とその加工特性-. 1996年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. 1996, 1143
• 森勇藏. Plasma CVM (Chemical Vaporization Machining)におけるポリシング加工に関する研究(第1報)-ポリシング加工用高速回転電極の試作とその加工特性-. 1996年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. 1996, 1145
• TAKINO, H. Computer Numerically Controlled Plasma Chemical Vaporization Machining with a Pipe Electrode for Optical Fabrication. Appl.Opt. 1998, 37, 5198

タイトルに関連する用語 (5件)： 数値制御 ,  プラズマCVM ,  X線ミラー ,  研究 ,  開発