干渉計を用いたAFMエンコーダ

文献

J-GLOBAL ID：200902179423729653 整理番号：03A0036712

An AFM Encoder Using An Interferometer.

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資料名：
巻： 122-C 号： 12 ページ： 2061-2066 発行年： 2002年12月01日
JST資料番号： S0810A ISSN： 0385-4221 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

原子間力顕微鏡(AFM)カンチレバーの変形量の検出に光干渉計...

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長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器 , 干渉測定と干渉計

引用文献 (8件)：

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