文献

J-GLOBAL ID：200902201485074403   整理番号：05A0457058

弾性放射加工による超平滑無欠陥4H-SiC(0001)表面の調製

Preparation of Ultrasmooth and Defect-Free 4H-SiC(0001) Surfaces by Elastic Emission Machining

著者 (6件)： KUBOTA Akihisa (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  MIMURA Hidekazu (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  INAGAKI Kouji (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  ARIMA Kenta (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  MORI Yuzo (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  YAMAUCHI Kazuto (Osaka Univ., Osaka, JPN)
資料名： Journal of Electronic Materials  (Journal of Electronic Materials)
巻： 34  号： 4  ページ： 439-443  発行年： 2005年04月 
JST資料番号： D0277B  ISSN： 0361-5235  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 工作物の表面と微粉末粒子の間の化学反応を用いた高精度の表面加...

シソーラス用語： 加工 ,...
準シソーラス用語： 弾性放射加工

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=05A0457058&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=D0277B") }}

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  その他の表面処理  (WC08070F)

タイトルに関連する用語 (5件)： 弾性 ,  放射 ,  欠陥 ,  4H-SiC ,  調製