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J-GLOBAL ID：200902206046560824   整理番号：08A0428391

PDMSとウレタンゲルエラストマーに埋め込まれた高分子/Siカンチレバーの触覚センサの製作と標準/剪断圧力応答

Fabrication and Normal/Shear Stress Responses of Tactile Sensors of Polymer/Si Cantilevers Embedded in PDMS and Urethane Gel Elastomers

著者 (8件)： HUANG Yu Ming (Osaka Univ., Osaka) ,  SOHGAWA Masayuki (Osaka Univ., Osaka) ,  YAMASHITA Kaoru (Osaka Univ., Osaka) ,  KANASHIMA Takeshi (Osaka Univ., Osaka) ,  OKUYAMA Masanori (Osaka Univ., Osaka) ,  NODA Minoru (Osaka Univ., Osaka) ,  NODA Minoru (Kyoto Inst. technol., Kyoto) ,  NOMA Haruo (ATR Knowledge Sci. Labs, Kyoto)
資料名： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 128  号： 5  ページ： 193-197  発行年： 2008年05月01日 
JST資料番号： L3098A  ISSN： 1341-8939  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 介護ロボットなどには,多数の触覚センサが必要になる。しかし,これまで,小型の触覚センサで,法線応力と剪断応力を同時に検出するものはあまりなかった。 そこで,本研究では,マイクロマシニングとエラストマコーティングによりSiウェハー上に制作された,カンチレバーをもつ統合多軸触覚センサを提案した。ヤング率の異なるエラストマとして,PDMSとウレタンゲルを使用し,その違いを調べた。その結果,PDMSを使ったものでは,法線応力と剪断応力に対して線形応答が得られた。一方,ウレタンゲルを使用したものでは,法線応力と剪断応力に対して非線形応答になるが,感度は30倍良いことがわかった。

シソーラス用語： *触覚センサ ,  *ポリジメチルシロキサン ,  *ウレタンゴム ,  片持梁 ,  剪断 ,  *応答 ,  埋込み【挿入】 ,  Young率 ,  線形性 ,  感度 ,  非線形性 ,  *センサ
準シソーラス用語： ウレタンエラストマー

分類 (1件)： 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V)

引用文献 (17件)：

• (1) L. Roos, F. Guenter, A. Guignard, and A. G. Billard : “Design of a biomimetic spine for the humanoid robot robota”, IEEE/RAS-EMBS Int. conf. on Biomed. Rob. Biomec, Pisa, Italy, pp. 20-22 (2006-2)
• (2) A. Bruce, I. Nourbakhsh, and R. Simmons : “The role of expressiveness and attention in human-robot interaction”, Proc. IEEE Int. Conf. Robo. Autom., Washington, DC, USA, pp. 4138-4142 (2002-5)
• (3) F. Kanehiro, K. Kaneko, K. Fujiwara, K. Harada, S. Kajita, K. Yokoi, H. Hirukawa, K. Akachi, and T. Isozumi : “The first humanoid robot that has the same size as a human and that can lie down and get up”, Proc. IEEE Int. conf. Robo. Autom, Taipei, Taiwan, pp. 1633-1639 (2003)
• (4) C.-C. Wen, C.-M. Lin, and W. Fang : “3-Axes tactile sensor with tunable sensing range”, Digest. Tech Pap, Transducer 07, Lyon, France, pp. 1457-1460 (2007-1)
• (5) K. Noda, K. Hoshino, K. Matsumoto, and I. Shimoyama : “300nm-thick cantilever in PDMS for tactile sensing”, IEEE Micro Electro Mechanical Systems, Miami Beach, FL, USA, pp. 283-286 (2005-1,2)

タイトルに関連する用語 (9件)： PDMS ,  高分子 ,  Si ,  カンチレバー ,  触覚センサ ,  製作 ,  標準 ,  剪断 ,  応答