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J-GLOBAL ID：200902209532101121   整理番号：06A0905377

SOIウェハ上の表面マイクロマシニング工程で作製したニ層片持梁のたわみ制御の研究

Studies on Deflection Control of Bilayer Cantilever Fabricated by Surface Micromachining Process on SOI Wafer

著者 (7件)： SOHGAWA M. (Osaka Univ., Osaka) ,  NODA M. (Osaka Univ., Osaka) ,  HUANG Y. M. (Osaka Univ., Osaka) ,  YAMASHITA K. (Osaka Univ., Osaka) ,  KANASHIMA T. (Osaka Univ., Osaka) ,  OKUYAMA M. (Osaka Univ., Osaka) ,  NOMA H. (ATR Knowledge Sci. Labs., Kyoto)
資料名： Proceedings of the Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems  (Proceedings of the Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems)
巻： 23rd  ページ： 165-168  発行年： 2006年10月05日 
JST資料番号： X0768A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： SOIウェハにCrとSiNをそれぞれ真空蒸着法と低圧化学気相...

シソーラス用語： *マイクロマシニング ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： SOIウェハ ,  表面マイクロマシニング ,  作製 ,  片持梁 ,  たわみ ,  研究