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J-GLOBAL ID：200902211703878787   整理番号：06A0881306

パルスレーザ堆積法により低温基板に作製した酸化亜鉛系透明導電膜

Transparent Conducting ZnO Thin Films Prepared at Room Temperature by PLD Method

著者 (10件)： 安倉秀明 (大阪産大 工) ,  高瀬康則 (大阪産大 工) ,  上原賢二 (大阪産大 工) ,  中村篤宏 (大阪産大 工) ,  東村佳則 (大阪産大 工) ,  青木孝憲 (大阪産大 工) ,  鈴木晶雄 (大阪産大 工) ,  松下辰彦 (大阪産大 工) ,  奥田昌宏 (奥田技術事務所) ,  沖中広和 (日立ハイテクノロジーズ)
資料名： 電気学会論文誌 C  (IEEJ Transactions on Electronics, Information and Systems)
巻： 126  号： 11  ページ： 1268-1275  発行年： 2006年11月01日 
JST資料番号： S0810A  ISSN： 0385-4221  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ArFエキシマレーザおよびNd:YAGレーザを用いたPLD(...

シソーラス用語： 透明材料 ,...
準シソーラス用語： Nd:YAGレーザ

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分類 (1件)： 薄膜成長技術・装置  (BK14020I)

引用文献 (41件)：

• (1) A. Suzuki, T. Matsushita, T. Aoki, Y. Yoneyama, and M. Okuda : “Micro-Textured Milky ZnO:Ga Thin Films Fabricated by Pulsed Laser Deposition Using Second-Harmonic-Generation of Nd:YAG Laser”, Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 38, No. 1, L71-L73 (1999-1)
• (2) A. Suzuki, T. Matsushita, T. Aoki, Y. Yoneyama, and M. Okuda : “Pulsed Laser Deposition of Transparent Conducting Indium Tin Oxide Films in Magnetic Field Perpendicular to plume”, Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 40, No. 4, L401-L403 (2001-4)
• (3) H. Izumi, F. O. Adurodija, T. Kaneyoshi, T. Ishihara, H. Yoshioka, and M. Motoyama : “Electrical and structural properties of indium tin oxide films prepared by pulsed laser deposition”, J. Appl. Phys., Vol. 91, Issue 3. pp. 1213∼1218 (2002-3)
• (4) A. Suzuki, T. Matsushita, T. Aoki, A. Mori, and M. Okuda : “Highly conducting transparent indium tin oxide films prepared by pulsed laser deposition”, Thin Solid Films, Vol. 411, Issue 1, pp. 23-27 (2002-5)
• (5) M. A. Morales-Paliza, R. F. Haglund, Jr., and L. C. Feldman : “Mechanisms of oxygen incorporation in indium-tin-oxide films deposited by laser ablation at room temperature”, Appl. Phys. Lett., Vol. 80, Issue 20. pp. 3757-3759 (2002-5)

タイトルに関連する用語 (5件)： パルスレーザ堆積 ,  低温 ,  作製 ,  酸化亜鉛 ,  透明導電膜