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J-GLOBAL ID：200902100937505066   整理番号：01A0620161

プルームに垂直な磁場における透明導電性酸化インジウムすず膜のパルスレーザ堆積

Pulsed Laser Deposition of Transparent Conducting Indium Tin Oxide Films in Magnetic Field Perpendicular to Plume.

著者 (5件)： SUZUKI A (Osaka Sangyo Univ., Osaka, JPN) ,  MATSUSHITA T (Osaka Sangyo Univ., Osaka, JPN) ,  AOKI T (Osaka Sangyo Univ., Osaka, JPN) ,  YONEYAMA Y (Osaka Sangyo Univ., Osaka, JPN) ,  OKUDA M (Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻： 40  号： 4B  ページ： L401-L403  発行年： 2001年04月15日 
JST資料番号： F0599B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： パルスレーザ堆積時に発生するプルームを囲むように120°間隔...

シソーラス用語： *酸化インジウム ,...
準シソーラス用語： ITO【固溶体】

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分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

引用文献 (14件)：

• 1) R. B. H. Tahar, T. Ban, Y. Ohya and Y. Takahashi: J. Appl. Phys. 83 (1998) 2139.
• 2) K. Zhang, F. Zhu, C. H. A. Huan and A. T. S. Wee: J. Appl. Phys. 86 (1999) 974.
• 3) N. Taga, Y. Shigesato and M. Kamei: J. Vac. Sci. & Technol. A <B>18</B> (2000) 1663.
• 4) Y. Matsuda, Y. Yamori, M. Muta, S. Ohgushi and H. Fujiyama: Jpn. J. Appl. Phys. 36 (1997) 4922.
• 5) Y. Akagi, K. Hanamoto, H. Suzuki, T. Katoh, M. Sasaki, S. Imai, M. Tsudagawa, Y. Nakayama and H. Miki: Jpn. J. Appl. Phys. 38 (1999) 6846.

タイトルに関連する用語 (5件)： プルーム ,  磁場 ,  導電性 ,  酸化インジウムすず ,  パルスレーザ堆積