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J-GLOBAL ID:200902230050783798   整理番号:05A0659208

硬X線を50nm以下の寸法に集束するための楕円形状面鏡の製作

Fabrication of elliptically figured mirror for focusing hard x rays to size less than 50 nm
著者 (14件):
資料名:
巻: 76  号:ページ: 063708.1-063708.5  発行年: 2005年06月 
JST資料番号: D0517A  ISSN: 0034-6748  CODEN: RSINAK  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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15keVのX線エネルギーで強度分布の半値全幅が36nmの収...
シソーラス用語:
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分類 (2件):
分類
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X線技術  ,  固体デバイス製造技術一般 
タイトルに関連する用語 (4件):
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