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J-GLOBAL ID：200902247441312390   整理番号：08A0548962

Al極性窒化アルミニウムの質を三ステージの流量変調有機金属化学蒸着法による改善

Improvement of Al-Polar AlN Layer Quality by Three-Stage Flow-Modulation Metalorganic Chemical Vapor Deposition

著者 (11件)： TAKEUCHI Misaichi (RIKEN, Saitama, JPN) ,  TAKEUCHI Misaichi (Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN) ,  TAKEUCHI Misaichi (Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN) ,  OOISHI Shin (Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN) ,  OHTSUKA Takumi (Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN) ,  MAEGAWA Tomohiro (Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN) ,  KOYAMA Takahiro (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  CHICHIBU Shigefusa F. (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  AOYAGI Yoshinobu (RIKEN, Saitama, JPN) ,  AOYAGI Yoshinobu (Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN) ,  AOYAGI Yoshinobu (Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN)
資料名： Applied Physics Express  (Applied Physics Express)
巻： 1  号： 2  ページ： 021102.1-021102.3  発行年： 2008年02月25日 
JST資料番号： F0599C  ISSN： 1882-0778  CODEN： APEPC4  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Al極性窒化アルミニウムの質の改善を三ステージの流量変調有機金属化学蒸着法(FM-MOCVD)により達成した。この方法に於いて,FM-MOCVDのシーケンスユニットは三つの段階から構成される。ステージ1は同時にガスを供給する。ステージ2はトリメチルアルミニウムを供給,ステージ3はアンモニアを供給し,このステージを周期的に繰り返す。X線回折に依ると,窒化アルミニウムの品質はステージ1の時間に強く依存することが明らかになった。ステージ1に核形成されたアイランドの表面被覆を考慮に入れて,成長モデルを提案した。低温カソードルミネセンスにより観察されるエキシトンの微細構造は結晶品質が著しく改善されたことを反映している。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *窒化アルミニウム ,  化合物半導体 ,  *MOCVD ,  X線回折 ,  アンモニア ,  半導体薄膜 ,  *陰極線ルミネセンス ,  核形成 ,  モデリング ,  励起子

分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

物質索引 (1件)： トリメチルアルミニウム

引用文献 (15件)：

• TANIYASU, Y. Nature. 2006, 441, 325
• MASUI, S. Jpn. J. Appl. Phys. 2003, 42, L1318
• KHAN, M. Asif. Jpn. J. Appl. Phys. 2005, 44, 7191
• MAYES, K. Appl. Phys. Lett. 2004, 84, 1046
• OHBA, Y. Jpn. J. Appl. Phys. 1996, 35, L1013

タイトルに関連する用語 (8件)： Al ,  極性 ,  窒化アルミニウム ,  質 ,  ステージ ,  流量 ,  変調 ,  有機金属化学蒸着法