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J-GLOBAL ID：200902250202522198   整理番号：05A1021592

数値制御プラズマCVMによる水晶ウエハの高精度加工に関する研究-円筒型回転電極を用いた数値制御加工による水晶ウエハ厚さの均一化-

Improvement of Thickness Uniformity of Quartz Wafer by Numerically Controlled Plasma CVM-Correction of Thickness Variation of Quartz Wafer by Numerically Controlled Machining Utilizing Rotary Electrode-

著者 (6件)： 柴原正文 (兵庫県工技セ) ,  山村和也 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ) ,  佐野泰久 (大阪大 大学院工学研究科) ,  杉山剛 (大阪大 大学院工学研究科) ,  遠藤勝義 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ) ,  森勇蔵 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 71  号： 5  ページ： 655-659  発行年： 2005年05月05日 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 機械研磨によるウェハの薄片化はウェハを保持するキャリヤの機械...

シソーラス用語： *プラズマ加工 ,...
準シソーラス用語： chemical vaporization machining ,...

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分類 (1件)： 特殊加工  (QC04000Y)

引用文献 (10件)：

• 日本水晶デバイス工業会編. 水晶デバイスの解説と応用. 2002, 50
• 佐藤雄一. 光伝送用電圧制御水晶発振器の提案. 電気学会電子・情報システム部門大会講演論文集, 2001. 2001, 2, 215
• 岡野庄太郎. 水晶周波数制御デバイス. 2001, 25
• 佐藤佐千雄. 移動体通信用水晶素板の研磨技術. 砥粒加工学会誌. 1997, 41, 4, 127
• 森勇藏. プラズマCVMの開発. 精密工学会誌. 2000, 66, 8, 1280

タイトルに関連する用語 (10件)： 数値制御 ,  プラズマCVM ,  水晶 ,  ウエハ ,  高精度加工 ,  研究 ,  回転電極 ,  数値制御加工 ,  厚さ ,  均一化