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J-GLOBAL ID：200902251662312260   整理番号：05A0908990

FIB-CVD法を用いて作製したDLCの機械的特性に対する熱処理効果

Influence of Heat Treatment on Mechanical Properties of DLC Deposited by FIB-CVD

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著者 (5件)： SAKAMOTO Naomichi (Iwaki Meisei Univ., Iwaki, JPN) ,  KOGO Yasuo (Tokyo Univ. Sci., Noda, JPN) ,  YASUNO Takuya (Iwaki Meisei Univ., Iwaki, JPN) ,  TANIGUCHI Jun (Tokyo Univ. Sci., Noda, JPN) ,  MIYAMOTO Iwao (Tokyo Univ. Sci., Noda, JPN)
資料名： JSME International Journal. Series A. Solid Mechanics and Material Engineering (Japan Society of Mechanical Engineers)  (JSME International Journal. Series A. Solid Mechanics and Material Engineering (Japan Society of Mechanical Engineers))
巻： 48  号： 4  ページ： 275-279  発行年： 2005年10月15日 
JST資料番号： G0026B  ISSN： 1344-7912  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： FIB-CVD法を用いて作製したDLCの機械的特性に対する熱...

シソーラス用語： *炭素 ,...
準シソーラス用語： DLC【炭素】

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分類 (1件)： 炭素とその化合物  (YB02060D)

引用文献 (19件)：

• (1) Tsai, H. and Bogy, D.B., Characterization of Diamondlike Carbon Films and Their Application as Overcoats on Thin-Film Media for Magnetic Recording, J. Vac. Sci. Technol. A, Vol.5 (1987), pp.3287-3312.
• (2) Singh, B., McClelland, D., Tamas III, F., Halon, B., Mesker, O. and Furst, D., Use of Black Diamond-Like Carbon Films as a Contrast Enhancement Layer for Liquid-Crystal Displays, Appl. Phys. Lett., Vol.57 (1990), pp.2288-2290.
• (3) Gago, R., Jiménez, I., Albella, J., Climent-Font, A., Cáceres, D., Vergara, I., Banks, J.C., Doyle, B.L. and Terminello, L.J., Bonding and Hardness in Nonhydrogenated Carbon Films with Moderate sp³ Content, J. Appl. Phys., Vol.87 (2000), pp.8174-8180.
• (4) Qian, F., Singh, R.K., Dutta, S.K. and Pronko, P.P., Laser Deposition of Diamondlike Carbon Films at High Intensities, Appl. Phys. Lett., Vol.67 (1995), pp.3120-3122.
• (5) Samano, E.C., Sato, G., Olivas, A. and Cota, L., DLC Thin Films Characterized by AES, XPS and EELS, Appli. Surf. Sci., Vol.202 (2002), pp.1-7.

タイトルに関連する用語 (5件)： FIB-CVD ,  作製 ,  DLC ,  機械的特性 ,  熱処理