文献
J-GLOBAL ID：200902253761471713
整理番号：04A0479244 ULSI配線用ダマシン銅めっきにおけるJGBの添加効果
根岸芳典
(早稲田大 理工)
, 長谷川円
(早稲田大 理工)
, 横島時彦
(早稲田大 理工)
, 中西卓也
(早稲田大 理工)
, 逢坂哲弥
(早稲田大 理工)
資料名：
表面技術協会講演大会講演要旨集
表面技術協会講演大会講演要旨集 について
巻： 109th ページ： 154-155 発行年： 2004年03月08日
JST資料番号： Y0050A ISSN： 0917-2947 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
シソーラス用語：
準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*超LSI
,...
超LSI について
準シソーラス用語：
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ダマシン銅めっき
ダマシン銅めっき について
分類 (1件)：
分類
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固体デバイス製造技術一般
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
(NC03030V)
固体デバイス製造技術一般 について
物質索引 (2件)：
物質索引
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ジャヌスグリーンB
, ジャヌスグリーンB について
ビス(3-スルホプロピル)ペルスルフィド
ビス(3-スルホプロピル)ペルスルフィド について
タイトルに関連する用語 (4件)：
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ULSI
, ULSI について
ダマシン
, ダマシン について
銅めっき
, 銅めっき について
添加効果
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