文献

J-GLOBAL ID：200902267717699333   整理番号：05A1022896

矩形石英板回転クリーナにおける空気流

Air Flow in Square Quartz Plate Spin Cleaner

著者 (6件)： HABUKA Hitoshi (Yokohama National Univ., Yokohama, JPN) ,  PAN Hairong (Yokohama National Univ., Yokohama, JPN) ,  FUJITA Ko (Pre-Tech Co., Ltd., Tokyo, JPN) ,  KATO Masayuki (Pre-Tech Co., Ltd., Shizuoka, JPN) ,  TAKEUCHI Takashi (Yokohama National Univ., Yokohama, JPN) ,  AIHARA Masahiko (Yokohama National Univ., Yokohama, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 44  号： 11  ページ： 8182-8185  発行年： 2005年11月15日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 計算流体力学を用いて,マスク基板として用いる矩形石英板(15...

シソーラス用語： *洗浄装置 ,...
準シソーラス用語： ウォータマーク

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (6件)：

• 1) T. Hattori, T. Osaka, K. Saga and H. Kuniyasu: J. Electrochem. Soc. 145 (1998) 3278.
• 2) H. Habuka, M. Mayusumi, N. Tate and M. Katayama: J. Cryst. Growth 151 (1995) 375.
• 3) Y. Sato, T. Tamura and T. Ohmine: Ext. Abstr., 1992 Int. Conf. Solid State Devices and Materials 1992, p. 20.
• 4) G. Luo, S. P. Vanka and N. Glumac: Int. J. Heat Mass Transfer 47 (2004) 4979.
• 5) S. V. Patankar: Numerical Heat Transfer and Fluid Flow (McGraw-Hill, New York, 1980).

タイトルに関連する用語 (3件)： 矩形 ,  石英 ,  空気流