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文献
J-GLOBAL ID：200902284682533099   整理番号：04A0343597

強誘電体をゲート絶縁膜に用いたITOチャネル薄膜トランジスタの作製と評価

著者 (3件)：
宮迫毅明

宮迫毅明 について

(東京工大 精密工研)

東京工大 精密工研 について

, 
妹尾賢

妹尾賢 について

(東京工大 精密工研)

東京工大 精密工研 について

, 
徳光永輔

徳光永輔 について

(東京工大 精密工研)

東京工大 精密工研 について


資料名：
応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)

応用物理学関係連合講演会講演予稿集 について


巻： 51st  号： 2  ページ： 650  発行年： 2004年03月28日 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ（有料）でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
*薄膜トランジスタ

薄膜トランジスタ について

,...
準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ（有料）でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
*PZT【鉛化合物】

PZT【鉛化合物】 について

,...
分類 (1件)：
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
 トランジスタ 
(NC03070N)

トランジスタ について

タイトルに関連する用語 (7件)：
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した文献タイトルの用語をもとにしたキーワードです
強誘電体

強誘電体 について

, 
ゲート絶縁膜

ゲート絶縁膜 について

, 
ITO

ITO について

, 
チャネル

チャネル について

, 
薄膜トランジスタ

薄膜トランジスタ について

, 
作製

作製 について

, 
評価

評価 について


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