特許
J-GLOBAL ID：200903000139438405
カーボンナノチューブ配線板及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
小島 清路
, 谷口 直也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-186655
公開番号（公開出願番号）：特開2004-031679
出願日： 2002年06月26日
公開日（公表日）： 2004年01月29日
要約：
【課題】所定の方向に高配向するカーボンナノチューブによって所定のパターンに形成されたカーボンナノチューブ配線板及びその製造方法を提供する。【解決手段】本発明のカーボンナノチューブ配線板は、基板と、該基板に配設され且つカーボンナノチューブからなる配線パターンと、を備える。この製造方法は、炭化珪素3の表面にカーボンナノチューブの生成を抑制する抑制膜4(酸化珪素膜等)を形成する工程と、該抑制膜4を所定のパターンにエッチングする工程と、エッチング後の炭化珪素を微量酸素の含有する雰囲気において、該炭化珪素が分解して該炭化珪素の表面から珪素原子が失われる温度に加熱する工程と、を順次備え、上記パターンに従ってカーボンナノチューブからなる配線パターン2が形成された配線板を製造するものである。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
基板と、該基板に配設され且つカーボンナノチューブからなる配線パターンと、を備えることを特徴とするカーボンナノチューブ配線板。
IPC (5件)：
H05K1/09
, B32B9/00
, C01B31/02
, H01B5/14
, H01B13/00
H05K1/09 Z
, B32B9/00 A
, C01B31/02 101F
, H01B5/14 B
, H01B13/00 503A
, H01B13/00 503D
4E351AA01
, 4E351AA06
, 4E351AA11
, 4E351AA14
, 4E351BB01
, 4E351CC31
, 4E351CC33
, 4E351CC40
, 4E351DD29
, 4E351DD56
, 4E351EE03
, 4F100AA16A
, 4F100AD11B
, 4F100AT00A
, 4F100BA02
, 4F100BA07
, 4F100DC21
, 4F100EJ152
, 4F100EJ422
, 4F100GB41
, 4F100JG01A
, 4G146AA07
, 4G146AB08
, 4G146AC03
, 4G146AD21
, 4G146BA38
, 4G146BC03
, 4G146BC24
, 4G146BC34A
, 4G146BC35A
, 5G323CA01
, 5G323CA05
