特許
J-GLOBAL ID：200903000537657923

シリコン溶融用容器

発明者：
松田 俊

松田 俊 について

, 
関 浩二

関 浩二 について

, 
加藤 忠章

加藤 忠章 について


出願人/特許権者：
東ソー・クォーツ株式会社

東ソー・クォーツ株式会社 について


代理人 (1件)： 石井 良和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-314392
公開番号（公開出願番号）：特開2006-124230
出願日： 2004年10月28日
公開日（公表日）： 2006年05月18日
要約：
【課題】電気的特性が良好で光電変換効率の高い多結晶シリコンインゴットを製造することができる容器を提供する。【解決手段】シリコン溶融用容器1の側壁3の底部肉厚を厚く、側壁上方に行くにつれて、肉厚が薄くなるテーパ状の形状とした。得られる多結晶シリコンのインゴットの歩留まりの観点から、テーパ角度は、0.5〜2度が好ましい。また、容器内面のうねりを3mm以下、表面粗さRaを10μm以下、更に好ましくは6μm以下の平滑な表面とすることによってシリコンの食い込みを低減して発生応力を逃げ易くし、シリコン内部歪の残留を軽減し、多結晶シリコンの光電変換効率を向上させる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
石英ガラス製の容器の側壁面の肉厚が底部から上部に向かって薄くしてあり、かつ、容器上面に向かって内部の水平断面積が徐々に大きくなるように内壁面をテーパ状としたシリコン溶融用容器。
IPC (1件)：
C01B 33/02
FI (1件)：
C01B33/02 E
Fターム (7件)：
4G072AA01 ,  4G072BB01 ,  4G072BB12 ,  4G072GG04 ,  4G072GG05 ,  4G072HH01 ,  4G072MM38
引用特許：
出願人引用 (3件)
  • 特開昭57-188498号公報
  • 特開昭63-117906号公報
  • 溶融シリカ質焼結体およびその製法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-319586   出願人：株式会社オプテックディディ・メルコ・ラボラトリー, 第一電工株式会社, 三菱電機株式会社
審査官引用 (14件)
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