特許
J-GLOBAL ID:200903000626574225
紫外線受光素子
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
中島 淳 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-357058
公開番号(公開出願番号):特開2003-158289
出願日: 2001年11月22日
公開日(公表日): 2003年05月30日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 バンドパスフィルターや導波路を用いることなく所望する波長域の紫外線が検出でき、入射角度依存性が小さく、光感度が高く、構成が簡易で、小型であり、低コストで安定且つ高精度な紫外線検出センサーを組み立てることができる紫外線光学素子を提供すること。【解決手段】 少なくとも第1の電極層21と、センサー層22と、を含んでなる紫外線受光素子24であって、前記第1の電極層が、Al,Ga,Inから選ばれる少なくとも一つ以上の元素と、窒素あるいは酸素と、を含む半導体からなることと、前記センサー層が、Al,Ga,Inから選ばれる少なくとも一つ以上の元素と、窒素と、を含む半導体からなることと、前記第1の電極層の長波長吸収端が、前記センサー層の長波長吸収端よりも短波長側にあることと、を特徴とする紫外線受光素子。
請求項(抜粋):
少なくとも第1の電極層と、センサー層と、を含んでなる紫外線受光素子であって、前記第1の電極層が、Al,Ga,Inから選ばれる少なくとも一つ以上の元素と、窒素あるいは酸素と、を含む半導体からなることと、前記センサー層が、Al,Ga,Inから選ばれる少なくとも一つ以上の元素と、窒素と、を含む半導体からなることと、前記第1の電極層の長波長吸収端が、前記センサー層の長波長吸収端よりも短波長側にあることと、を特徴とする紫外線受光素子。
Fターム (9件):
5F049MA02
, 5F049MB07
, 5F049MB12
, 5F049NA01
, 5F049NA18
, 5F049NA19
, 5F049PA04
, 5F049SE05
, 5F049WA05
引用特許:
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