顕微鏡装置

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：松田和子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-097498
公開番号（公開出願番号）：特開2003-295063
出願日： 2002年03月29日
公開日（公表日）： 2003年10月15日
要約：

【要約】【課題】簡単な構成で高精度かつ迅速な被写体の撮像ができる。【解決手段】試料1を支持する支持台6と、試料を拡大する顕微鏡3と、拡大した試料をライン画像として撮像するラインセンサ4と、ラインセンサ4で撮像したライン画像から試料1の画像を作成する画像処理手段5とを備え、支持台6は、その傾き及び顕微鏡3の焦点距離を調整する調整手段61を備えている。

請求項（抜粋）：

試料を支持する支持台と、上記試料を拡大する顕微鏡と、上記拡大した試料をライン画像として撮像するラインセンサと、上記ラインセンサで撮像したライン画像から上記試料の画像を作成する画像処理手段とを備え、上記支持台は、その傾き及び上記顕微鏡の焦点距離を調整する調整手段を備えていることを特徴とする顕微鏡装置。

IPC (4件)：

G02B 21/00 , G02B 7/04 , G02B 7/08 , G02B 21/36

FI (4件)：

G02B 21/00 , G02B 7/08 A , G02B 21/36 , G02B 7/04 C

Fターム (7件)：

2H044BB02 , 2H044BB07 , 2H052AD06 , 2H052AD11 , 2H052AF14 , 2H052AF21 , 2H052AF25

引用特許：

審査官引用 (5件)

広視野領域・高速走査顕微鏡検査法
公報種別：公表公報出願番号：特願2000-537104 出願人：ジェネティック・マイクロシステムズ・インコーポレイテッド
特開平2-300707
走査式顕微鏡の焦点補正方法及び走査式顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-151671 出願人：株式会社東京精密

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