特許
J-GLOBAL ID:200903001089551953
電極形成方法及びインクジェットヘッドの製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
丸山 英一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-162694
公開番号(公開出願番号):特開2007-331135
出願日: 2006年06月12日
公開日(公表日): 2007年12月27日
要約:
【課題】無電解めっきにより形成される電極間に不要なめっき膜が析出せず、短絡の発生を効果的に防止することのできる電極形成方法及びこれを用いたインクジェットヘッドの製造方法を提供すること。【解決手段】基板1上に複数の感光性樹脂層2、3を形成し、パターニングにより電極形成部5を形成した後、最表層の前記感光性樹脂層3及び前記電極形成部5の表面に対して触媒付与を行い、次に前記複数の感光性樹脂層2、3のうちの前記触媒6が付着した表側の感光性樹脂層3を除去した後、無電解めっき液に浸漬し、前記触媒6が付与された前記電極形成部5を含む部位にめっき膜を形成し、基板1上に電極7をパターン形成する。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
基板上に複数の感光性樹脂層を形成し、パターニングにより電極形成部を形成した後、最表層の前記感光性樹脂層及び前記電極形成部の表面に対して触媒付与を行い、次に前記複数の感光性樹脂層のうちの前記触媒が付着した表側の感光性樹脂層を除去した後、無電解めっき液に浸漬し、前記触媒が付与された前記電極形成部を含む部位にめっき膜を形成し、基板上に電極をパターン形成することを特徴とする電極形成方法。
IPC (4件):
B41J 2/16
, B41J 2/045
, B41J 2/055
, H05K 3/18
FI (5件):
B41J3/04 103H
, B41J3/04 103A
, H05K3/18 D
, H05K3/18 E
, H05K3/18 B
Fターム (21件):
2C057AF93
, 2C057AG45
, 2C057AP55
, 2C057AP57
, 2C057AP61
, 2C057BA03
, 2C057BA14
, 5E343AA02
, 5E343AA22
, 5E343BB24
, 5E343BB28
, 5E343BB44
, 5E343BB45
, 5E343CC62
, 5E343CC63
, 5E343CC71
, 5E343DD33
, 5E343ER02
, 5E343ER12
, 5E343ER18
, 5E343GG08
引用特許:
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (4件)