剪断モード型インクジェットヘッド用圧電性基盤及び剪断モード型インクジェットヘッド用圧電性基盤の電極形成方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-272945
公開番号（公開出願番号）：特開2004-106380
出願日： 2002年09月19日
公開日（公表日）： 2004年04月08日
要約：

【課題】剪断モード型インクジェットヘッドを小型化でき、生産性に優れ、低コストの、吐出インク滴を安定にする高密度の圧電性基盤の提供。【解決手段】複数の溝と、該溝の内面に設けられた電圧を印加する印加用電極と、該印加用電極に接続された配線用電極とを有する剪断モード型インクジェットヘッド用圧電性基盤において、該印加用電極と該配線用電極とが無電解ニッケル・硼素メッキ方法で形成された比抵抗値が2×10-5〜3×10-5Ωcmを有する単層ニッケル・硼素合金メッキ被膜であることを特徴とする剪断モード型インクジェットヘッド用圧電性基盤。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

複数の溝と、該溝の内面に設けられた電圧を印加する印加用電極と、該印加用電極に接続された配線用電極とを有する剪断モード型インクジェットヘッド用圧電性基盤において、該印加用電極と該配線用電極とが無電解ニッケル・硼素メッキ方法で形成された比抵抗値が2×10-5〜3×10-5Ωcmを有する単層ニッケル・硼素合金メッキ被膜であることを特徴とする剪断モード型インクジェットヘッド用圧電性基盤。

IPC (3件)：

B41J2/045 , B41J2/055 , B41J2/16

FI (2件)：

B41J3/04 103A , B41J3/04 103H

Fターム (13件)：

2C057AF93 , 2C057AG32 , 2C057AG39 , 2C057AG45 , 2C057AP02 , 2C057AP14 , 2C057AP22 , 2C057AP33 , 2C057AP55 , 2C057AQ06 , 2C057AQ10 , 2C057BA03 , 2C057BA14

引用特許：

審査官引用 (12件)

インクジェットヘッドの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-368366 出願人：コニカ株式会社
インクジェットヘッド
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-123536 出願人：コニカ株式会社
半導体基板配線のバリア層
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-270492 出願人：株式会社荏原製作所, 株式会社東芝

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