特許
J-GLOBAL ID：200903001097738418

感光性組成物及びそれを用いたパターン形成方法

発明者：
児玉 邦彦

児玉 邦彦 について


出願人/特許権者：
富士写真フイルム株式会社

富士写真フイルム株式会社 について


代理人 (4件)： 小栗 昌平 ,  本多 弘徳 ,  市川 利光 ,  高松 猛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-180979
公開番号（公開出願番号）：特開2006-146143
出願日： 2005年06月21日
公開日（公表日）： 2006年06月08日
要約：
【課題】IC等の半導体製造工程、液晶、サーマルヘッド等の回路基板の製造、さらにその他のフォトファブリケーション工程などに使用される感光性組成物及びそれを用いたパターン形成方法に於いて、解像力、ラインエッジラフネスに優れた感光性組成物及びそれを用いたパターン形成方法を提供する。【解決手段】(A)特定の基を有する繰り返し単位を有し、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂を含有する感光性組成物及びそれを用いたパターン形成方法。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
(A)同一繰り返し単位中に水酸基及び/又は水酸基の水素原子がアシル基、アルキル基、シクロアルキル基及び酸分解性基から選ばれる基によって置換された基と、ラクトン構造を有する基とを有する繰り返し単位、並びに、5又は6員環が縮環したラクトン構造を有する基を有する繰り返し単位から選ばれる少なくとも1種類の繰り返し単位を有し、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂を含有することを特徴とする感光性組成物。
IPC (3件)：
G03F 7/039 ,  C08F 220/28 ,  H01L 21/027
FI (3件)：
G03F7/039 601 ,  C08F220/28 ,  H01L21/30 502R
Fターム (25件)：
2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BG00 ,  2H025FA12 ,  4J100AJ02S ,  4J100AK32R ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100AR11S ,  4J100BA03R ,  4J100BC09Q ,  4J100BC09R ,  4J100BC53P ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100DA01 ,  4J100DA28 ,  4J100JA38
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (4件)
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