特許
J-GLOBAL ID：200903001176067588

半田接合状況検査装置

発明者：
亀川 正之

亀川 正之 について


出願人/特許権者：
株式会社島津製作所

株式会社島津製作所 について


代理人 (1件)： 河▲崎▼ 眞樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-285626
公開番号（公開出願番号）：特開2005-055274
出願日： 2003年08月04日
公開日（公表日）： 2005年03月03日
要約：
【課題】 比較的簡単なメカニズムのもとに、迅速に所望の面に沿った断層像を構築することができ、もって安価でスループットの高い半田接合状況検査装置を提供する。【解決手段】 x-y方向に移動可能な試料テーブル3を挟んで対向配置されたX線源1とX線検出器2とを、試料テーブル3の試料搭載面3aに沿った軸4aの回りに回転させ、その微小回転角度ごとに試料WのX線透過情報を取り込んで断層像を構築する断層像再構成演算手段10を備えるとともに、試料テーブル3上の試料Wの基準面Sのz方向への位置を位置検出手段9a,9bにより検出する一方、基準面Sに対するスライス面のz方向位置情報を記憶手段12に記憶しておき、断層像再構成演算装置10では、その記憶内容と位置検出手段による位置検出結果に従った面で断層像を構築する面を決定することにより、回路基板などの試料に反り等があっても、常に基準面に対して一定の位置で切断した断層像を得て、短時間で半田接合状況の検査を行うことを可能とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
回路基板等の検査対象物となる試料上に存在する半田の接合状況をX線断層像を用いて検査する装置であって、 検査すべき試料を搭載する試料テーブルと、その試料テーブルを試料搭載面に沿ったx-y平面上で移動させるテーブル移動機構と、テーブルを挟んで対向配置されたX線源およびX線検出器と、そのX線源およびX線検出器とを対向状態で保持して試料テーブルの試料搭載面に平行な回転軸の回りに回転させる回転機構と、その回転機構による複数の回転角度ごとに取り込んだ試料のX線透過情報を用いて、上記回転軸に直交する面に沿って切断した試料の断層像を構築する演算手段を備えるとともに、試料テーブル上の試料の基準面の上記x-y平面に直交するz方向への位置を検出する位置検出手段と、試料の断層像を構築すべき面の上記基準面に対するz方向への位置情報をあらかじめ記憶する記憶手段とを備え、上記演算手段は、その記憶手段の内容と上記位置検出手段による基準面の検出結果に基づき、断層像を構築する平面を決定することを特徴とする半田接合状況検査装置。
IPC (3件)：
G01N23/04 ,  H01L21/60 ,  H05K3/34
FI (3件)：
G01N23/04 ,  H01L21/60 321Y ,  H05K3/34 512B
Fターム (21件)：
2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001DA02 ,  2G001FA06 ,  2G001GA04 ,  2G001GA08 ,  2G001GA13 ,  2G001HA13 ,  2G001JA01 ,  2G001JA06 ,  2G001JA07 ,  2G001JA11 ,  2G001KA20 ,  2G001LA11 ,  2G001PA11 ,  5E319AA03 ,  5E319AB05 ,  5E319BB04 ,  5E319CC33 ,  5E319CD53
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (8件)
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