特許
J-GLOBAL ID：200903001340152362
赤外線センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
西川 惠清
, 森 厚夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-119735
公開番号（公開出願番号）：特開2007-292561
出願日： 2006年04月24日
公開日（公表日）： 2007年11月08日
要約：
【課題】高性能化を図れる赤外線センサを提供する。【解決手段】ベース基板1と、赤外線を吸収するとともに該吸収による温度変化を検知する温度検知部3と、温度検知部3がベース基板1の一表面から離間して配置されるように温度検知部3を支持して温度検知部3とベース基板1とを熱絶縁する断熱部4とを備える。断熱部4は、ベース基板1の上記一表面から離間して配置されベース基板1側とは反対側に温度検知部3が形成される支持部41と、支持部41とベース基板1とを連結した脚部42,42とを有する。断熱部4は、支持部41および脚部42,42が多孔質材料により形成されており、支持部41に、当該支持部41の厚み方向に貫通する複数の空孔41bが形成されている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ベース基板と、赤外線を吸収するとともに該吸収による温度変化を検知する温度検知部と、温度検知部がベース基板の一表面から離間して配置されるように温度検知部を支持して温度検知部とベース基板とを熱絶縁する断熱部とを備え、断熱部は、ベース基板の前記一表面から離間して配置され温度検知部が設けられた支持部と、支持部とベース基板とを連結した脚部とを有し、支持部は、当該支持部の厚み方向に貫通する複数の空孔が形成されてなることを特徴とする赤外線センサ。
IPC (4件)：
G01J 1/02
, G01J 5/02
, G01J 5/20
, H01L 37/00
G01J1/02 C
, G01J1/02 Q
, G01J5/02 J
, G01J5/20 B
, H01L37/00
2G065AA04
, 2G065AB02
, 2G065BA14
, 2G065BA34
, 2G065DA20
, 2G066BA09
, 2G066BA13
, 2G066BA55
出願人引用 (1件)
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センサ
公報種別：公開公報
出願番号：特願平10-270435
出願人：松下電工株式会社
審査官引用 (6件)
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