特許
J-GLOBAL ID：200903002242458565
エアフィルタの組立・梱包・性能試験方法、ファンフィルタユニットの組立・梱包方法、クリーンルーム、局所設備
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
森 哲也 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-365037
公開番号（公開出願番号）：特開平11-253715
出願日： 1998年12月22日
公開日（公表日）： 1999年09月21日
要約：
【要約】【課題】エアフィルタの稼働直後からクリーンルーム内にガス状有機物が放散されないようにする。【解決手段】エアフィルタとファンフィルタユニットの構成材料および梱包材料をガス状有機物が発生しないものとする。その組立・梱包環境をガス状有機物の存在しない空間で行う。エアフィルタの性能試験に用いるエアロゾルを、ガス状有機物を発生しない微粒子を、ガス状有機物を含まない空気中に分散させて得られたものとする。このようにして組立、性能試験、梱包がなされて搬入されたエアフィルタまたはファンフィルタユニットをクリーンルーム内に設置する。クリーンルーム内の床材、壁材、乾式シール材、および湿式シール材として、ガス状有機物が発生しない材料を使用する。
請求項（抜粋）：
ガス状有機物を発生しない材料を用いて作製されたエアフィルタ構成材料を用い、ガス状有機物が存在しない空間でエアフィルタの組立を行うことを特徴とするエアフィルタの組立方法。
IPC (4件)：
B01D 39/00
, B01D 46/00
, F24F 7/06
, G01N 15/08
B01D 39/00 B
, B01D 46/00 Z
, F24F 7/06 C
, G01N 15/08 A
