特許
J-GLOBAL ID：200903002573369538
針状結晶構造とその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大岩 増雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-061903
公開番号（公開出願番号）：特開平7-272651
出願日： 1994年03月31日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：
【要約】【目的】 精密計測機器用探針、マイクロマシーン、真空マイクロエレクトロニクス、電子顕微鏡等に用いられる微小径の針状結晶を微細パターンの形成技術を用いることなく形成する。【構成】 シリコン基板1上に形成した陽極酸化膜3中の空孔部5の底部のバリア層4を除去し、その底部に金6の層を形成してVLS法によりシリコンの針状結晶8を成長させる。その後、陽極酸化膜3を除去し所望の形状に分割する。【効果】 0.01μm〜0.02μm径の針状結晶が製造できる。
請求項（抜粋）：
シリコン基板の主面上にアルミニウムまたはアルミニウム合金膜を形成する工程、該アルミニウムまたはアルミニウム合金膜を陽極酸化膜に変換する工程、該陽極酸化膜の空孔部の底面に存在するバリア層を除去して該シリコン基板の表面を露出する工程、該空孔部内の露出したシリコン基板上にシリコンと共晶合金が形成可能な金属層を形成する工程、該空孔部の金属層形成部にVLS(Vapor Liquid Solid)法によりシリコンの針状結晶を成長させる工程を含むことを特徴とする針状結晶構造の製造方法。
引用特許：
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