特許
J-GLOBAL ID：200903002989716784
圧電/電歪デバイス及び製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 一平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-207186
公開番号（公開出願番号）：特開2004-247703
出願日： 2003年08月11日
公開日（公表日）： 2004年09月02日
要約：
【課題】パーティクルの発生が抑えられ長期にわたり継続して安定した変位動作を実現する圧電/電歪デバイスと、変位量が大きく且つ高い発生力を有する圧電/電歪デバイスと、高密度に配置可能な圧電/電歪デバイスと、を提供することであり、好ましくはこれら能力を2つ以上兼ね備えた圧電/電歪デバイスを提供すること。【解決手段】厚肉のセラミック基体2の上に、圧電/電歪体4と、その圧電/電歪体4の側面に形成された少なくとも一対の電極18,19と、を有する圧電/電歪素子31が立設された、低発塵性マトリクス型圧電/電歪デバイス1の提供による。この低発塵性マトリクス型圧電/電歪デバイス1は、圧電/電歪素子31が、概ね柱体形状を呈し、複数、マトリクス状に立設されている。又、セラミック基体2と圧電/電歪素子31とが一体的に形成されている。そして、電極18,19が形成された圧電/電歪体4の側面が、未加工焼成面である。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
セラミック基体の上に、圧電/電歪体と、前記圧電/電歪体の側面に形成された少なくとも一対の電極と、を有する圧電/電歪素子が立設され、前記セラミック基体と前記圧電/電歪素子とが一体的に形成された圧電/電歪デバイスであって、
前記電極が形成された前記圧電/電歪体の側面が、未加工焼成面である低発塵性圧電/電歪デバイス。
IPC (10件)：
H01L41/09
, B28B11/00
, G02B26/08
, H01L41/08
, H01L41/083
, H01L41/187
, H01L41/193
, H01L41/22
, H01L41/24
, H02N2/00
H01L41/08 C
, G02B26/08 E
, H02N2/00 B
, H01L41/08 J
, H01L41/22 Z
, H01L41/08 S
, H01L41/08 N
, H01L41/22 A
, H01L41/08 H
, H01L41/18 102
, H01L41/18 101B
, H01L41/18 101C
, H01L41/18 101D
, H01L41/18 101J
, H01L41/08 L
, B28B11/00 Z
2H041AA07
, 2H041AA12
, 2H041AB14
, 2H041AC08
, 2H041AZ08
, 4G055AA08
, 4G055AC01
, 4G055AC09
, 4G055AC10
, 4G055BA22
, 4G055BA43
, 4G055BA65
, 4G055BA83
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (10件)
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