特許
J-GLOBAL ID：200903003264211675
熔融石英ガラスおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-235031
公開番号（公開出願番号）：特開2008-208017
出願日： 2007年09月11日
公開日（公表日）： 2008年09月11日
要約：
【課題】 紫外線、可視光線、赤外線を利用する各種光学材料、半導体製造用部材、液晶製造用部材、MEMS製造用部材、液晶用ガラス基板に好適に利用可能な、紫外線、可視光線、赤外線の透過率が高く、高純度で耐熱性の高く、Cuイオンの拡散速度の遅い熔融石英ガラスを安価に提供する。【解決手段】 波長245nmの紫外光に対する厚さ10mmでの内部透過率が95%以上であり、かつOH含有量が5ppm以下、Li,Na,K,Mg,Ca,Cuの含有量が各々0.1ppm未満であり、好ましくはAlを重量比で2ppm以下含有し、1215°Cにおける粘性率が1012.0Pa・s以上であり、1050°C、大気中でのCuイオンの熱拡散において、表面から20〜100μmの深さにおけるCuイオンの拡散係数が1×10-10cm2/sec以下となる熔融石英ガラスであり、このような熔融石英ガラスは、原料シリカ粉を予めクリストバライト化した後、非還元性雰囲気中で熔融することにより得ることができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
波長245nmの紫外光に対する厚さ10mmでの内部透過率が95%以上であり、かつOH含有量が5ppm以下、Li,Na,K,Mg,Ca,Cuの含有量が各々0.1ppm未満であることを特徴とする熔融石英ガラス。
IPC (1件)：
FI (3件)：
C03B20/00 F
, C03B20/00 A
, C03B20/00 K
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (7件)
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