特許
J-GLOBAL ID：200903003905271134
レジスト組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (7件)：
志賀 正武
, 高橋 詔男
, 渡邊 隆
, 青山 正和
, 鈴木 三義
, 西 和哉
, 村山 靖彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-242877
公開番号（公開出願番号）：特開2004-355023
出願日： 2004年08月23日
公開日（公表日）： 2004年12月16日
要約：
【課題】 金属表面等の極性の高い表面に対する密着性、疎水性および耐熱性に優れ、レジスト用の溶剤に対する溶解性が良好なレジスト組成物を提供する。【解決手段】 少なくとも脂環式骨格を有する単量体とラクトン骨格を有する単量体とを重合して得られ、共重合体中のラクトン骨格を有する単量体の共重合組成分布が、共重合体全体のラクトン骨格を有する単量体の平均共重合組成の-10〜+10モル%内である共重合体;または、脂環式骨格を有する単量体と、ラクトン骨格を有する単量体と、脂環式骨格を有する単量体よりも高い極性を持ち、かつラクトン骨格を有する単量体よりも低い極性を持つ他のビニル系単量体とを重合して得られる共重合体を用いる。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
少なくとも脂環式骨格を有する単量体とラクトン骨格を有する単量体とを重合して得られる共重合体を含むレジスト組成物であって、
前記共重合体が、共重合体中のラクトン骨格を有する単量体の共重合組成分布が、共重合体全体のラクトン骨格を有する単量体の平均共重合組成の-10〜+10モル%内であることを特徴とするレジスト組成物。
IPC (3件)：
G03F7/033
, G03F7/039
, H01L21/027
G03F7/033
, G03F7/039 601
, H01L21/30 502R
2H025AB16
, 2H025AC04
, 2H025AC08
, 2H025AD03
, 2H025BE00
, 2H025BG00
