特許
J-GLOBAL ID：200903004182007901
走査電子顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-012744
公開番号（公開出願番号）：特開2007-194126
出願日： 2006年01月20日
公開日（公表日）： 2007年08月02日
要約：
【課題】試料室外と試料室内とで帯電電圧が異なるウェーハ表面の試料室内での帯電電圧を正確に、かつ、簡易迅速に自動測定することにより、高速なフォーカス合わせを行うことができる走査電子顕微鏡を提供する。【解決手段】試料上方に配置されるリタ-ディング電圧を印加するための電極板を2つの部分に分割し、分割した各々の電極の電位を切り替えることにより、両電極板間の静電容量から試料の帯電電圧を測定し、当該測定結果に基づいて光学系を制御する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
電子線源と、
前記電子線源からの電子線を照射する試料を保持するステージと、
前記電子線を前記ステージに保持された試料上に集束させるための対物レンズと、
前記試料と前記対物レンズとの間に配置された電子線の通過開口を有する電極板と、
前記試料と前記電極板との間に電圧を印加して前記電子線源からの電子線を所望の電圧まで減速させるためのリターディング手段と、
を備えた走査電子顕微鏡において、
前記電極板は2以上の互いに絶縁された領域に分割されており、前記電極板の分割された領域のうち前記試料と電気的に接続された1の領域と他の領域との間の静電容量を測定し、その測定値に基づいて前記試料の帯電電圧を検出することを特徴とする走査電子顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J37/28 B
, H01J37/21 B
5C033MM03
, 5C033UU02
, 5C033UU10
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (6件)
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