特許
J-GLOBAL ID：200903083167867403
電子ビーム描画装置用電極及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大胡 典夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-061700
公開番号（公開出願番号）：特開2000-260371
出願日： 1999年03月09日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：
【要約】【課題】 電極を構成部材を隙間なく確実に密着固定可能であると共に、製作工数及び製作コストの低減化を可能にした電子ビーム描画装置用電極及びその製造方法を提供する。【解決手段】 電極10は、電気絶縁材からなり中央に貫通穴21を有するリング状の絶縁部材20を有している。この絶縁部材20の一方の端面には、複数の電極片30の元端側の端面が接着剤又はろう材により密着固定され、これらの電極片30の先端がそれぞれ貫通穴21の投影空間に突出して対向するように配置されている。絶縁部材20の他方の端面には、同じく接着剤又はろう材により金属製の支持部材40が密着固定されている。
請求項（抜粋）：
電気絶縁材からなり中央に貫通穴を有するリング状の絶縁部材と、この絶縁部材の一方の端面に取り付けられた複数の電極片とからなり、前記複数の電極片は、前記貫通穴と同心の円周上に配列されて元端側の光軸方向に対する一方の端面が前記絶縁部材の一方の端面に接着剤又はろう材によりそれぞれ密着固定され、先端がそれぞれ前記貫通穴の投影空間内に突出して対向すべく配置されていることを特徴とする電子ビーム描画装置用電極。
IPC (4件)：
H01J 37/12
, G03F 7/20 504
, H01J 9/14
, H01L 21/027
H01J 37/12
, G03F 7/20 504
, H01J 9/14 A
, H01L 21/30 541 B
2H097AA03
, 2H097BA04
, 2H097BA10
, 2H097CA16
, 2H097LA10
, 5C033CC02
, 5C033GG02
, 5F056AA01
, 5F056CB07
, 5F056CB11
, 5F056EA06
