特許
J-GLOBAL ID：200903005098907782
液晶表示装置の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
天野 広
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-362206
公開番号（公開出願番号）：特開2004-163922
出願日： 2003年10月22日
公開日（公表日）： 2004年06月10日
要約：
【課題】少なくとも有機絶縁膜を有する層間絶縁膜上に透明導電膜をパターン形成する液晶表示装置の製造方法において、ITO膜のパターニング不均一に起因する表示ムラを改善する。【解決手段】層間絶縁膜38の有機絶縁膜33上に室温で非晶質のITO膜を堆積し、非晶質のままITO膜をパターニングして画素電極21を形成し、配向膜形成後の熱処理によりITO膜を多結晶化する。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
基板上にスイッチング素子を形成する第一の工程と、前記スイッチング素子を層間絶縁膜で覆う第二の工程と、前記層間絶縁膜を介して前記スイッチング素子に接続される透明電極を前記層間絶縁膜上に形成する第三の工程と、を有する液晶表示装置の製造方法において、
前記第三の工程は、
前記層間絶縁膜上に非晶質の透明導電膜を堆積する工程と、
前記非晶質の透明導電膜をパターニングして透明電極を形成する工程と、
配向膜形成後の熱処理により前記透明電極を多結晶化する工程と、
を含むことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
IPC (3件)：
G02F1/1343
, G02F1/1333
, G02F1/1368
G02F1/1343
, G02F1/1333 505
, G02F1/1368
2H090HA04
, 2H090HA06
, 2H090HB02X
, 2H090HB07X
, 2H090HC15
, 2H090HC17
, 2H090HD03
, 2H090KA04
, 2H090LA01
, 2H090LA04
, 2H092GA14
, 2H092HA28
, 2H092JA26
, 2H092JA46
, 2H092JB58
, 2H092JB69
, 2H092KB12
, 2H092KB14
, 2H092KB25
, 2H092MA05
, 2H092MA18
, 2H092MA29
, 2H092MA37
, 2H092NA01
, 2H092NA29
, 2H092PA02
, 2H092QA06
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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