特許
J-GLOBAL ID：200903005522473666
光学素子の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-123544
公開番号（公開出願番号）：特開2002-321941
出願日： 2001年04月20日
公開日（公表日）： 2002年11月08日
要約：
【要約】【課題】 小型で曲率半径の大きな光学レンズを精度良く作製する。【解決手段】 光学材料よりなる基板1上に半球レンズ4の形状に対応するマスク3を形成し、ドライエッチングによりマスク3の形状に応じた半球レンズ4を形成する。例えば、光学材料よりなる基板1上にマスク材料層2を形成し、このマスク材料層2を半球レンズ4の口径に対応する円筒形状に形成しマスク3とし、熱処理を行うことによりマスク3の形状を表面積が小さくなるように変形させる。そして、ドライエッチング時に、基板1に対するエッチング速度とマスク3に対するエッチング速度との比を変化させることで、マスク3の形状に略々応じた形状の半球レンズ4を基板1に転写し、小型の半球レンズ4が形成される。
請求項（抜粋）：
光学材料よりなる基板上に光収束手段の形状に対応するマスク材料を形成し、ドライエッチングにより上記光収束手段を形成する光学素子の製造方法において、ドライエッチングを行う際に、上記基板に対するエッチング速度と上記マスク材料に対するエッチング速度との比を変化させることを特徴とする光学素子の製造方法。
IPC (4件)：
C03C 15/00
, G02B 3/00
, G03F 7/20 501
, G11B 7/135
C03C 15/00 A
, C03C 15/00 D
, G02B 3/00 Z
, G03F 7/20 501
, G11B 7/135 A
2H097JA04
, 2H097LA17
, 4G059AA11
, 4G059AB06
, 4G059AB11
, 4G059AC09
, 4G059BB01
, 4G059BB13
, 5D119AA01
, 5D119AA22
, 5D119BA01
, 5D119JA43
