特許
J-GLOBAL ID:200903005668835012
カーボンナノチューブセンサ及びその製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
林 靖
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-153365
公開番号(公開出願番号):特開2006-329802
出願日: 2005年05月26日
公開日(公表日): 2006年12月07日
要約:
【課題】測定ガスに対して、高感度で高速に応答し、安価で、製造が容易なカーボンナノチューブセンサとその製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】本発明のカーボンナノチューブセンサは、半導体カーボンナノチューブ材料2と金属電極1a,1b間にショットキー接合部6が形成されていることを主要な特徴とする。また、その製造方法は、半導体カーボンナノチューブ材料2と金属の仕事関数を測定ガス雰囲気下でそれぞれ測定し、p型又はn型に応じて金属の仕事関数と比較して仕事関数の大きな又は小さな半導体カーボンナノチューブ材料2を選び、この金属電極間に架橋することを特徴とする。【選択図】図1
請求項(抜粋):
半導体カーボンナノチューブ材料が一対の金属電極と架橋端で電気的に接合され、周囲の測定ガスの吸着に基づく前記金属電極間の抵抗変化を測定してガス濃度を検出するカーボンナノチューブセンサであって、前記半導体カーボンナノチューブ材料と前記金属電極間には、ショットキー接合部が形成されていることを特徴とするカーボンナノチューブセンサ。
IPC (3件):
G01N 27/12
, G01N 27/04
, G01N 27/447
FI (4件):
G01N27/12 C
, G01N27/12 B
, G01N27/04 E
, G01N27/26 331Z
Fターム (22件):
2G046AA04
, 2G046AA10
, 2G046AA13
, 2G046AA16
, 2G046BA09
, 2G046BB02
, 2G046BC05
, 2G046EA04
, 2G046EA09
, 2G046FB00
, 2G046FE03
, 2G060AA01
, 2G060AB10
, 2G060AB13
, 2G060AF07
, 2G060AG10
, 2G060BA01
, 2G060BB04
, 2G060HA01
, 2G060HC07
, 2G060JA01
, 2G060KA01
引用特許: