特許
J-GLOBAL ID：200903005686716268

走査型近視野光学顕微鏡

発明者：
冨田 英介

冨田 英介 について


出願人/特許権者：
セイコー電子工業株式会社

セイコー電子工業株式会社 について


代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-056585
公開番号（公開出願番号）：特開平9-243649
出願日： 1996年03月13日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：
【要約】【課題】 波長以下の高分解能を有し,局所的な励起発光測定が可能な近視野光学顕微鏡を提供する。【解決手段】 レーザー光源2とレンズ3とプリズム4を用いて試料5表面にエバネッセント光101を発生させる。光導波プローブ1を試料に接近させ,エバネッセント光101を散乱させ,レンズ7と光検出器8で検出する。Zサ-ボ回路9とZ軸微動素子10を用いてプローブの距離制御を行う。XY走査回路11とXY微動素子12を用いて2次元走査し,データ処理手段13により3次元画像化を行う。
請求項（抜粋）：
先端に直径が波長以下の微小開口部を有する光導波プローブと,レーザー光源とレンズとプリズムとからなるエバネッセント光発生手段と,前記光導波プローブを試料表面に接近させる粗動機構と,レンズと光検出器とからなるエバネッセント光検出手段と,Z軸微動素子とZサーボ回路とからなる試料とプローブ間の距離制御手段と,XY微動素子とXY走査回路とからなる2次元走査手段と,測定信号の3次元画像化を行うデータ処理手段とからなる走査型近視野光学顕微鏡。
IPC (2件)：
G01N 37/00 ,  G01B 11/30
FI (2件)：
G01N 37/00 D ,  G01B 11/30 Z
引用特許：
審査官引用 (6件)
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