特許
J-GLOBAL ID：200903005688430647
アルミナ分散研磨液およびアルミナ分散研磨液の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福村 直樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-157909
公開番号（公開出願番号）：特開平11-349926
出願日： 1998年06月05日
公開日（公表日）： 1999年12月21日
要約：
【要約】【課題】 沈降及び凝集等がなくて長期保存性に優れ、被加工物に表面欠陥を生じさせることのないアルミナ分散研磨液及びその製造方法の提供。【解決手段】 窒素原子含有モノカルボン酸、及び水系分散媒に分散され、微細なアルミナを含有し、弱酸性に調整されてなるアルミナ分散砥粒液、及び前記各成分を混合し分散処理する製造方法。
請求項（抜粋）：
窒素原子を含むモノカルボン酸、及び水系分散媒に分散された5〜100nmの平均一次粒径を有するアルミナを含有し、pH3〜6に調整されてなることを特徴とするアルミナ分散研磨液。
IPC (2件)：
C09K 3/14 550
, C09K 3/14
C09K 3/14 550 D
, C09K 3/14 550 Z
