研磨液

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-082785
公開番号（公開出願番号）：特開平10-279926
出願日： 1997年04月01日
公開日（公表日）： 1998年10月20日
要約：

【要約】【目的】金属膜を研磨できると共に表面への傷発生を抑制することが可能な研磨液を提供しようとものである。【構成】コロイダルアルミナおよび水を含有することを特徴としている。

請求項（抜粋）：

コロイダルアルミナおよび水を含有することを特徴とする研磨液。

IPC (6件)：

C09K 3/14 550 , C09K 3/14 , B24B 57/02 , C09K 13/06 101 , H01L 21/304 321 , H05K 3/10

FI (6件)：

C09K 3/14 550 D , C09K 3/14 550 Z , B24B 57/02 , C09K 13/06 101 , H01L 21/304 321 P , H05K 3/10 E

引用特許：

審査官引用 (10件)

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