特許
J-GLOBAL ID：200903005693805683

無機結晶性配向膜及びその製造方法、半導体デバイス

発明者：
梅田 賢一

梅田 賢一 について

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平井 博幸

平井 博幸 について

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田中 淳

田中 淳 について

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幸田 勝博

幸田 勝博 について

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東 耕平

東 耕平 について

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砂川 寛

砂川 寛 について


出願人/特許権者：
富士フイルム株式会社

富士フイルム株式会社 について


代理人 (2件)： 柳田 征史 ,  佐久間 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-320678
公開番号（公開出願番号）：特開2009-167087
出願日： 2008年12月17日
公開日（公表日）： 2009年07月30日
要約：
【課題】配向性を有さない基板上に複合酸化物等の無機結晶性配向膜を成膜する方法を提供する。【解決手段】ガラス基板等の非晶質基板11上に、層状結晶構造を有する無機結晶粒子20を含む原料と有機溶媒とを含む原料液を用いて、液相法により無機結晶粒子20を含む非単結晶膜12を成膜し、この非単結晶膜12が結晶化する温度以上の条件で非単結晶膜12を加熱し、無機結晶粒子20の一部を結晶核として非単結晶膜12を結晶化させることにより、無機結晶性配向膜1を製造する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板上に、層状結晶構造を有する無機結晶粒子を含む原料と有機溶媒とを含む原料液を用いて、液相法により前記無機結晶粒子を含む非単結晶膜を成膜する工程(A)と、 該非単結晶膜が結晶化する温度以上の条件で、該非単結晶膜を加熱し、前記無機結晶粒子の一部を結晶核として前記非単結晶膜を結晶化させる工程(B)と順次実施することを特徴とする無機結晶性配向膜の製造方法。
IPC (7件)：
C30B 1/04 ,  C30B 29/22 ,  C04B 35/00 ,  H01L 21/368 ,  H01L 21/336 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/20
FI (9件)：
C30B1/04 ,  C30B29/22 ,  C04B35/00 J ,  H01L21/368 Z ,  H01L29/78 618A ,  H01L29/78 627G ,  H01L29/78 620 ,  H01L29/78 618B ,  H01L21/20
Fターム (71件)：
4G030AA07 ,  4G030AA27 ,  4G030AA32 ,  4G030AA34 ,  4G030AA36 ,  4G030BA01 ,  4G030CA01 ,  4G030CA02 ,  4G030CA08 ,  4G030GA10 ,  4G030GA20 ,  4G030GA27 ,  4G077AA03 ,  4G077AB02 ,  4G077BC60 ,  4G077CA03 ,  4G077EC04 ,  4G077ED06 ,  4G077EJ04 ,  4G077HA06 ,  4G077JA03 ,  4G077JA06 ,  4G077JB07 ,  5F053AA50 ,  5F053DD20 ,  5F053FF01 ,  5F053GG02 ,  5F053HH02 ,  5F053HH05 ,  5F053LL10 ,  5F053PP03 ,  5F053RR05 ,  5F053RR20 ,  5F110AA01 ,  5F110AA16 ,  5F110BB01 ,  5F110CC07 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD13 ,  5F110EE08 ,  5F110FF02 ,  5F110GG01 ,  5F110GG06 ,  5F110GG17 ,  5F110GG42 ,  5F110PP01 ,  5F110PP02 ,  5F110PP03 ,  5F110PP04 ,  5F110PP31 ,  5F152AA07 ,  5F152BB03 ,  5F152CC02 ,  5F152CC03 ,  5F152CC04 ,  5F152CD09 ,  5F152CD13 ,  5F152CE01 ,  5F152CE18 ,  5F152CE44 ,  5F152EE14 ,  5F152FF03 ,  5F152FF11 ,  5F152FF13 ,  5F152FF15 ,  5F152FF20 ,  5F152FF22 ,  5F152FG03 ,  5F152FG08 ,  5F152FH01
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (4件)
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引用文献：
審査官引用 (1件)

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