特許
J-GLOBAL ID:200903005837625960
電磁放射の測定方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
矢野 敏雄 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-348407
公開番号(公開出願番号):特開平11-237281
出願日: 1998年12月08日
公開日(公表日): 1999年08月31日
要約:
【要約】【課題】 対象物に対し放射源から送出される電磁放射が照射され、放射源から送出された放射は第1の検出器により検出され、照射された対象物から発せられた放射は第2の検出器により検出されるような電磁放射の測定方法において、電磁放射の測定ならびにこの測定により導出されたパラメータおよび値の算出を簡単にしかもいっそう精確に実行できるようにする。【解決手段】 放射源から送出される放射を、特性パラメータを用いて能動的に変調する。対象物から反射した放射源の放射を補償するため、第2の検出器により検出された放射源からの放射を、第1の検出器により検出された放射によって補正する。
請求項(抜粋):
対象物に対し少なくとも1つの放射源から送出される電磁放射が照射され、放射源から送出された放射は、少なくとも1つの第1の検出器により検出され、照射された対象物から発せられた放射は、放射を測定する少なくとも1つの第2の検出器により検出される形式の、電磁放射の測定方法において、少なくとも1つの放射源から送出される放射を、少なくとも1つの特性パラメータを用いて能動的に変調し、第2の検出器により検出された放射を、対象物から反射した放射源の放射を補償するため、第1の検出器により検出された放射によって補正することを特徴とする、電磁放射の測定方法。
IPC (2件):
FI (2件):
G01J 1/44 A
, G01J 5/10 B
引用特許:
審査官引用 (20件)
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放射温度計
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-124941
出願人:株式会社神戸製鋼所
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特開平3-096839
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特開平4-305130
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放熱物体の温度測定に使用する角濾波による放射輝度の測定
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-264498
出願人:インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
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気相成長装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-187552
出願人:東芝機械株式会社
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特開昭59-155741
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走査式光学組織検査装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-132475
出願人:カール・ツアイス・スティフツング
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特開平4-191642
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赤外線ガス分析装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-117953
出願人:株式会社堀場製作所
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特開昭62-172228
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テストキャリア分析システムにおけるアナログ光学測定信号の検出および評価方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-146866
出願人:ベーリンガー・マンハイム・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング
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特表平2-504676
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半導体基板の急速熱酸化装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-173515
出願人:川崎製鉄株式会社
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半導体装置の製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-126099
出願人:沖電気工業株式会社
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特開平2-001930
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特開昭64-107120
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特開昭62-110127
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特開昭60-131430
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特許第5180226号
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特許第5154512号
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