特許
J-GLOBAL ID：200903006188657609

磁気抵抗効果素子およびその製造方法

発明者：
村上 修一

村上 修一 について

, 
福澤 英明

福澤 英明 について

, 
湯浅 裕美

湯浅 裕美 について

, 
藤 慶彦

藤 慶彦 について


出願人/特許権者：
株式会社東芝

株式会社東芝 について


代理人 (22件)： 鈴江 武彦 ,  蔵田 昌俊 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  福原 淑弘 ,  峰 隆司 ,  白根 俊郎 ,  村松 貞男 ,  野河 信久 ,  幸長 保次郎 ,  河野 直樹 ,  砂川 克 ,  勝村 紘 ,  橋本 良郎 ,  風間 鉄也 ,  河井 将次 ,  佐藤 立志 ,  岡田 貴志 ,  堀内 美保子 ,  竹内 将訓 ,  市原 卓三 ,  山下 元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-019365
公開番号（公開出願番号）：特開2009-182129
出願日： 2008年01月30日
公開日（公表日）： 2009年08月13日
要約：
【課題】より大きなMR変化率を実現できる磁気抵抗効果素子を提供する。【解決手段】磁化方向が実質的に一方向に固着された磁化固着層と、磁化方向が外部磁界に対応して変化する磁化自由層と、前記磁化固着層と前記磁化自由層との間に設けられた中間層と、前記磁化固着層または磁化自由層の上に設けられたキャップ層と、前記磁化固着層中、前記磁化自由層中、前記磁化固着層と前記中間層との界面、前記中間層と前記磁化自由層との界面、および前記磁化固着層または磁化自由層と前記キャップ層との界面のいずれかに設けられ、酸素または窒素を含有する材料で形成された機能層とを含む磁気抵抗効果膜と、前記磁気抵抗効果膜の膜面に垂直に電流を流すための一対の電極とを有し、前記機能層の結晶配向面が、その上または下の隣接する層の結晶配向面と異なることを特徴とする磁気抵抗効果素子。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
磁化方向が実質的に一方向に固着された磁化固着層と、磁化方向が外部磁界に対応して変化する磁化自由層と、前記磁化固着層と前記磁化自由層との間に設けられた中間層と、前記磁化固着層または磁化自由層の上に設けられたキャップ層と、前記磁化固着層中、前記磁化自由層中、前記磁化固着層と前記中間層との界面、前記中間層と前記磁化自由層との界面、および前記磁化固着層または磁化自由層と前記キャップ層との界面のいずれかに設けられ、酸素または窒素を含有する材料で形成された機能層とを含む磁気抵抗効果膜と、 前記磁気抵抗効果膜の膜面に垂直に電流を流すための一対の電極と を有し、前記機能層の結晶配向面が、その上または下の隣接する層の結晶配向面と異なることを特徴とする磁気抵抗効果素子。
IPC (6件)：
H01L 43/08 ,  H01L 43/12 ,  H01L 21/824 ,  H01L 27/105 ,  G11B 5/39 ,  G01R 33/09
FI (5件)：
H01L43/08 Z ,  H01L43/12 ,  H01L27/10 447 ,  G11B5/39 ,  G01R33/06 R
Fターム (64件)：
2G017AA10 ,  2G017AD55 ,  2G017AD63 ,  2G017AD65 ,  4M119AA17 ,  4M119BB03 ,  4M119CC02 ,  4M119DD04 ,  4M119DD05 ,  4M119DD06 ,  4M119DD07 ,  4M119DD08 ,  4M119DD09 ,  4M119DD33 ,  4M119DD42 ,  4M119DD45 ,  4M119EE03 ,  4M119EE22 ,  4M119EE29 ,  4M119FF05 ,  4M119FF06 ,  4M119FF15 ,  4M119FF17 ,  4M119JJ01 ,  4M119JJ02 ,  5D034BA03 ,  5D034BA05 ,  5D034BA06 ,  5D034BA12 ,  5D034CA06 ,  5D034DA07 ,  5F092AA02 ,  5F092AB02 ,  5F092AB07 ,  5F092AB08 ,  5F092AC08 ,  5F092AD03 ,  5F092BB09 ,  5F092BB10 ,  5F092BB15 ,  5F092BB17 ,  5F092BB22 ,  5F092BB31 ,  5F092BB34 ,  5F092BB35 ,  5F092BB36 ,  5F092BB42 ,  5F092BB45 ,  5F092BB51 ,  5F092BB53 ,  5F092BB55 ,  5F092BC04 ,  5F092BC07 ,  5F092BC13 ,  5F092BC18 ,  5F092BC19 ,  5F092BC22 ,  5F092BE13 ,  5F092BE14 ,  5F092BE21 ,  5F092BE25 ,  5F092CA13 ,  5F092CA15 ,  5F092CA17
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (7件)
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