特許
J-GLOBAL ID：200903006387972920
溝深さ測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
小野 尚純
, 奥貫 佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-063351
公開番号（公開出願番号）：特開2006-250539
出願日： 2005年03月08日
公開日（公表日）： 2006年09月21日
要約：
【課題】溝深さ測定器の精度に依存することなく、溝深さ測定器の精度よりも更に高い精度でレーザ加工溝の深さを測定可能にすること。【解決手段】レーザ加工溝80の深さを測定する溝深さ測定方法は、ウエーハ34に形成されたレーザ加工溝80の延在方向に平行な一つの溝深さ測定経路L1を設定しかつ溝深さ測定器70を、溝深さ測定経路L1に位置付けてレーザ加工溝80の深さを測定する最初の溝深さ測定ステップと、ウエーハ34を、溝深さ測定経路L1に直交する方向にそれぞれ一定の間隔で順次に割り出し送りして溝深さ測定経路L1に平行な他の溝深さ測定経路L2〜Lnに位置付ける毎にレーザ加工溝80の深さを測定する他の複数の溝深さ測定ステップとを含む。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
被加工物の表面又は裏面にレーザ光線を照射してレーザ加工溝を形成し、該レーザ加工溝にレーザ光線を照射しかつ所定のスキャン方向にスキャンして深さを測定することができる溝深さ測定器を、該所定のスキャン方向が常に該レーザ加工溝の延在方向と一致するよう配設して、該レーザ加工溝の深さを測定する溝深さ測定方法であって、
該被加工物に形成された該レーザ加工溝の延在方向に平行な一つの溝深さ測定経路を設定しかつ該溝深さ測定器を、該溝深さ測定経路に位置付けて該レーザ加工溝の深さを測定する最初の溝深さ測定ステップと、該溝深さ測定器又は被加工物を、該溝深さ測定経路に直交する方向にそれぞれ一定の間隔で順次に割り出し送りして該溝深さ測定経路に平行な他の溝深さ測定経路に位置付ける毎に該レーザ加工溝の深さを測定する他の複数の溝深さ測定ステップとを含む、
ことを特徴とする溝深さ測定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B11/22 Z
, H01L21/66 P
2F065AA03
, 2F065AA06
, 2F065AA25
, 2F065CC19
, 2F065FF04
, 2F065GG04
, 2F065GG05
, 2F065HH04
, 2F065JJ00
, 2F065JJ26
, 2F065MM01
, 2F065TT02
, 4M106AA01
, 4M106AA20
, 4M106BA05
, 4M106CA48
, 4M106DH12
, 4M106DH32
, 4M106DH60
出願人引用 (2件)
審査官引用 (7件)
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