特許
J-GLOBAL ID:200903087160816787

溝深さ測定方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 小野 尚純 ,  奥貫 佐知子
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-063352
公開番号(公開出願番号):特開2006-250540
出願日: 2005年03月08日
公開日(公表日): 2006年09月21日
要約:
【課題】溝深さ測定器の精度に依存することなく、溝深さ測定器の精度よりも更に高い精度でレーザ加工溝の深さを測定可能にすること。【解決手段】溝深さ測定方法は、ウエーハ34に形成されたレーザ加工溝80の延在方向に対し鋭角に交叉する一つの溝深さ測定経路Lを設定する深さ測定経路設定ステップと、溝深さ測定器70を、溝深さ測定経路Lに位置付けて溝深さ測定経路Lに沿ってスキャンさせることによりレーザ加工溝80の深さを測定する溝深さ測定ステップとを含む。【選択図】 図6
請求項(抜粋):
被加工物の表面又は裏面にレーザ光線を照射してレーザ加工溝を形成し、該レーザ加工溝にレーザ光線を照射しかつ所定のスキャン方向にスキャンして深さを測定することができる溝深さ測定器によって、該レーザ加工溝の深さを測定する溝深さ測定方法であって、 該被加工物に形成された該レーザ加工溝の延在方向に対し鋭角に交叉する一つの溝深さ測定経路を設定する深さ測定経路設定ステップと、該溝深さ測定器を、該溝深さ測定経路に位置付けて該溝深さ測定経路に沿ってスキャンさせることにより該レーザ加工溝の深さを測定する溝深さ測定ステップとを含む、 ことを特徴とする溝深さ測定方法。
IPC (1件):
G01B 11/22
FI (1件):
G01B11/22 Z
Fターム (19件):
2F065AA02 ,  2F065AA06 ,  2F065AA20 ,  2F065AA25 ,  2F065BB03 ,  2F065BB17 ,  2F065CC19 ,  2F065DD03 ,  2F065FF41 ,  2F065GG04 ,  2F065MM07 ,  2F065PP02 ,  2F065PP12 ,  2F065PP13 ,  2F065PP22 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ28 ,  2F065TT08 ,  2F065UU06
引用特許:
出願人引用 (2件) 審査官引用 (7件)
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