特許
J-GLOBAL ID:200903006451161486
接着シート、一体型シート、半導体装置、及び半導体装置の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (6件):
三好 秀和
, 岩▲崎▼ 幸邦
, 川又 澄雄
, 伊藤 正和
, 高橋 俊一
, 高松 俊雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-337558
公開番号(公開出願番号):特開2007-270125
出願日: 2006年12月14日
公開日(公表日): 2007年10月18日
要約:
【課題】基板の配線や、半導体チップに付設されたワイヤ等の凹凸を充てんでき、貼り付け時にボイドを生じない、室温付近でのタック強度が低く作業性、安定性に優れる、耐熱性や耐湿性を満足する接着シート、それを用いた一体型シート、半導体装置、及び半導体装置の製造方法を提供する。【解決手段】硬化前の100°Cの溶融粘度が100Pa・s以上25000Pa・s以下であり、25°Cにおけるタック強度が8gf以上30gf以下、40°Cにおけるタック強度が40gf以上80gf以下であり、厚さが5〜250μmである接着シート。【選択図】図4
請求項(抜粋):
硬化前の100°Cの溶融粘度が100Pa・s以上25000Pa・s以下であり、25°Cにおけるタック強度が8gf以上30gf以下、40°Cにおけるタック強度が40gf以上80gf以下であり、厚さが5〜250μmであることを特徴とする接着シート。
IPC (5件):
C09J 7/00
, H01L 21/52
, C09J 201/00
, C09J 163/00
, H01L 21/301
FI (5件):
C09J7/00
, H01L21/52 E
, C09J201/00
, C09J163/00
, H01L21/78 M
Fターム (35件):
4J004AA02
, 4J004AA10
, 4J004AA11
, 4J004AA13
, 4J004AA14
, 4J004AA17
, 4J004AA18
, 4J004BA02
, 4J004BA03
, 4J004FA05
, 4J004FA08
, 4J040DF002
, 4J040EC041
, 4J040EC061
, 4J040EC071
, 4J040EC121
, 4J040EE062
, 4J040EF002
, 4J040EH032
, 4J040GA07
, 4J040GA11
, 4J040HA136
, 4J040HA156
, 4J040HA196
, 4J040HA306
, 4J040HA316
, 4J040JA09
, 4J040JB02
, 4J040KA16
, 4J040KA42
, 4J040LA01
, 4J040LA02
, 4J040NA20
, 5F047BA21
, 5F047BB03
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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