光導波路素子及び光導波路素子の製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉村興作 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-381231
公開番号（公開出願番号）：特開2002-182173
出願日： 2000年12月15日
公開日（公表日）： 2002年06月26日
要約：

【要約】【課題】素子チップ単位の処理を必要としない、焦電効果防止に対応した新規な構成の光導波路素子を提供するとともに、その製造方法を提供する。【解決手段】ニオブ酸リチウムのXカット板などからなる基板の、変調用電極が形成された主面と反対側の裏面において、凹部を形成する。そして、この凹部の内面の少なくとも一部に導電膜を形成し、接地する。

請求項（抜粋）：

電気光学効果を有する基板と、この基板に形成された光導波路と、前記基板の主面上に形成された変調用電極とを具えた光導波路素子であって、前記基板の、前記変調用電極が形成された主面と反対側の裏面において凹部が形成され、前記凹部の内面の少なくとも一部に導電膜が形成されるとともに、この導電膜は電気的に接地されたことを特徴とする、光導波路素子。

IPC (3件)：

G02F 1/035 , G02B 6/12 , G02B 6/13

FI (3件)：

G02F 1/035 , G02B 6/12 J , G02B 6/12 M

Fターム (16件)：

2H047KA04 , 2H047NA02 , 2H047PA01 , 2H047PA24 , 2H047QA03 , 2H047RA08 , 2H079AA02 , 2H079AA12 , 2H079BA01 , 2H079BA03 , 2H079CA04 , 2H079DA03 , 2H079EA03 , 2H079EA24 , 2H079EB05 , 2H079HA11

引用特許：

審査官引用 (9件)

光導波路素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-055834 出願人：日本碍子株式会社
特開平4-214526
光導波路デバイスの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-166485 出願人：富士通株式会社

全件表示

前のページに戻る