特許
J-GLOBAL ID：200903007601181134
露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
飯塚 雄二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-301114
公開番号（公開出願番号）：特開平10-135117
出願日： 1996年10月25日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：
【要約】【課題】 常に安定した精度で感光基板の位置検出を行える露光装置を提供すること。【解決手段】 感光基板(W)の位置を検出する位置検出手段(1〜9)の少なくとも一部を所定の気密性をもって包囲する包囲手段(42)と、包囲手段(42)内に存在する気体の一部を吸引することによって、位置検出手段(1〜9)の周辺の気体の温度を制御する温度制御手段(44)とを備える。
請求項（抜粋）：
マスクに形成されたパターンの像を投影光学系を介して感光基板上に転写する露光装置において、前記感光基板の位置を検出する位置検出手段と;前記位置検出手段の少なくとも一部を所定の気密性をもって包囲する包囲手段と;前記包囲手段内に存在する気体の一部を温度制御することによって、前記位置検出手段の周辺の温度を制御する温度制御手段とを備えたことを特徴とする露光装置。
IPC (2件)：
FI (4件)：
H01L 21/30 516 E
, G03F 9/00 H
, H01L 21/30 525 R
, H01L 21/30 525 F
